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![KAIST, 화학물질 없이 식각하는 반도체 기술 최초 개발[자동화 설비]](https://static.wixstatic.com/media/858ee3_4b20862618d145d69364f227bd067704~mv2.png/v1/fill/w_345,h_250,fp_0.50_0.50,q_35,blur_30,enc_avif,quality_auto/858ee3_4b20862618d145d69364f227bd067704~mv2.webp)
![KAIST, 화학물질 없이 식각하는 반도체 기술 최초 개발[자동화 설비]](https://static.wixstatic.com/media/858ee3_4b20862618d145d69364f227bd067704~mv2.png/v1/fill/w_514,h_373,fp_0.50_0.50,q_95,enc_avif,quality_auto/858ee3_4b20862618d145d69364f227bd067704~mv2.webp)
KAIST, 화학물질 없이 식각하는 반도체 기술 최초 개발[자동화 설비]
리소그래피 장비없이 저비용으로 대면적 나노 구조 제작 가능 [테크월드뉴스=박규찬 기자] 차세대 반도체 메모리의 소재로 주목을 받고 있는 강유전체는 차세대 메모리 소자 혹은 작은 물리적 변화를 감지하는 센서로 활용되는 등 그 중요성이 커지고 있다. 이에 반도체의 핵심 소자가 되는 강유전체를 화학물질없이 식각할 수 있는 연구를 성공해 화제다. 비대칭 트라이볼로지를 이요한 신개념 패터닝 기술 [자료=KAIST] KAIST는 신소재공학과 홍승범 교수가 제네바 대학교와 국제공동연구를 통해 강유전체 표면의 비대칭 마멸 현상을 세계 최초로 관찰 및 규명했고, 이를 활용해 혁신적인 나노 패터닝 기술을 개발했다고 26일 밝혔다. 연구팀은 강유전체 소재의 표면 특성에 관한 연구에 집중했다. 이들은 원자간력 현미경을 활용해 다양한 강유전체의 트라이볼로지(Tribology, 마찰 및 마모) 현상을 관찰했고 강유전
2024년 3월 27일2분 분량
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